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红宝石平台首页的性能介绍

作者:红宝石平台首页电子     浏览:     宣布时间:2017-09-30 09:49:15 来源:原创

红宝石平台首页即电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的繁杂的半导体加工设备.

[红宝石平台首页]即电子束曝光机是集电子光学,电气,机械,真空,计算机技术等于一体的繁杂的半导体加工设备.常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊巨细的基片到4尺寸很宽广范畴资料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系统胜利地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,高低或复晶设备和其他要求精细印制和精度瞄准的应用.



红宝石平台首页是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的外表上的设备.

[红宝石平台首页]的分类:

曝光机一般根据操作的简便性分为三种,手动,半自动,全自动

 

A 手动:指的是瞄准的调理方法,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成瞄准,瞄准精度可想而知不高了;

 

B 半自动:指的是瞄准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;

 

C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过顺序控制,自动光刻机主要是满足工厂关于处理量的需要.



红宝石平台首页性能指标:

光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范畴,区分率,瞄准精度,曝光方法,光源波长,光强均匀性,生产效率等.



区分率是对曝光工艺加工可以抵达的最细线条精度的一种描述方法.曝光的区分率受受光源衍射的限制,所以与光源,光刻系统,光刻胶和工艺等各方面的限制.



瞄准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度.曝光方法分为接触接近式,投影式和直写式.

曝光光源波长分为紫外,深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等.




[红宝石平台首页]工作原理:

在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质爆发变革,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.



红宝石平台首页曝光机的应用:

更广范畴(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范畴: 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光强或恒定功率模式.



广泛应用于半导体,微电子,生物器件和纳米科技领.常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊巨细的基片到4尺寸很宽广范畴资料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6系统胜利地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,高低或复晶设备和其他要求精细印制和精度瞄准的应用.





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